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        芯片定制

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        紅外光源

        提供不同尺寸、不同規格的MEMS紅外光源定制芯片。紅外光源工藝流程如下:


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        超聲波傳感器

        提供MEMS超聲波傳感器定制芯片。超聲波傳感器工藝流程如下:


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        叉指電極

        提供各類MEMS生物醫療器件定制芯片,包括叉指電極、三電極共面電極。


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        硅針/柔性針

        硅針/柔性針主要用在神經元檢測、葡萄糖檢測等。針長可達到15mm。


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        微熱板氣體傳感器

        提供不同尺寸、不同加熱電極、不同加熱溫度的MEMS微熱板氣體傳感器定制芯片。微熱板工藝流程如下:



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        FBAR濾波器

        提供FBAR濾波器定制芯片。FBAR濾波器工藝流程如下:


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        壓力傳感器

        提供擴散硅壓阻式力傳感器、多晶硅壓阻式壓力傳感器、SOI( Silicon on Insulator


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        通孔微結構

        提供不同開口孔徑和不同厚度的硅基通孔定制芯片,用于病毒細胞和蛋白質篩選。 


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        基因轉錄組芯片

        玻璃基全面的亞細胞級轉錄組芯片,為疾病的診斷治療及藥物研發提供更有力的決策依據。


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