1. 服務熱線:

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        鍍膜

        鍍膜

        鍍膜

        2021/5/20 15:40:01

        · LPCVD(低壓化學氣相沉積)

        SiNx,片內均勻性:<±5%

        · PECVD(等離子增強 化學氣相沉積)

        SiO?,SiNx,a-Si(B,P,Ge摻雜)

        · ICPCVD(感應耦合 化學氣相沉積)

        SiO?,SiNx,SiC(低溫、低應力鍍膜)

        · PEALD(原子層沉積)

        Al2O3、HfO2、AlN

        · 光學鍍膜

        SiO2、MgF2、ITO、TiO2、Ta2O5、ZrO2、Al2O3

        · PVD(濺射沉積)

        Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Ru、Si、SiC、NiCr20、Nb

        · 電子束蒸發

        Ti,Al,Ni,Ag,Cu,Cr,Sn,Pt,AuGe

        · 熱蒸發

        Sn,AuSn,Ag,Au,In,Al,Cr,Cu,Ti


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