1. 服務熱線:

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        外延和摻雜

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        2021/5/20 16:02:28

        · 金屬有機物化學氣相沉積

        GaN,GaAs

        · 化學氣相沉積

        SIC

        · 離子注入

        B,P,F,Al,N,Ar,H,He,Si

        · 高溫氧化

        1150℃

        · 高溫擴散/退火

        900℃-1100℃

        · 快速退火

        150℃-1000℃

        · MPCVD(微波等離子體化學氣相沉積)

        Si上多晶金剛石的外延生長


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